在科技创新的前沿领域,哈尔滨工业大学的王富强同学团队取得了重大突破,他们研发的高精度磁悬浮隔振系统为高端装备振动控制难题提供了创新解决方案。
该团队针对传统隔振技术机械弹簧低频隔振效果差、气浮系统无法兼容真空环境等问题,结合专业知识,研究磁悬浮隔振技术,现已研发一款主被动结合的磁悬浮隔振系统,该系统由重力补偿器和音圈电机两部分组成,重力补偿器起到被动的重力补偿作用,音圈电机起到主动隔振和补偿的作用,具有高精度、刚度可调、兼容真空环境等优势,力分辨率可0.001N。可广泛应用于极紫外光刻机、航天器空间光学载荷测试等高端领域,显著提升精密仪器的测量与制造精度。
目前,该研究成果已成功应用于光机所巡天光学设施磁悬浮重力卸载系统,测试表明本作品在低刚度磁悬浮隔振、高精度主动补偿控制等方面达到了国内外领先水平,具备突出的技术创新性和广阔的工程应用前景。